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Chemical Precision
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HYOSUNG Neochem

반도체, 디스플레이 기술동향에 따른 소재 Solution 제공

반도체 및 디스플레이 고객의 기술로드맵에 따라 선행적으로 소재에 대한 솔루션을 제공하기 위해 연구소, 영업, 생산 조직이 유기적으로 연계하여 기민하게 움직이고 있습니다.

다양한 제품 포트폴리오와 안정적인 공급망 구축

Global 특수가스 공급 회사로서 다양한 제품을 공급하고 있으며, 생산거점을 다각화하여 안정적인 공급 체계를 구축하고 있습니다.

우수한 기술력을 바탕으로 특수소재 소재 개발

HYOSUNG Neochem 만의 독자적 기술 개발과 끊임없는 연구를 통해 고순도 NF3를 자체 개발하였고, 20%F2/N2, 중수소(D2), 염소(Cl2), 염화수소(HCl) 등 다양한 특수가스 포트폴리오를 가지고 있습니다.

  • 공급 안정성

    용연, 옥산, 취저우(중국) 등 독립된 공장을 통해 안정적으로 제품 공급

  • 독자적인 원천기술

    전해조 및 고순도 F2 기술,
    가스 관련 부식방지 및 안전한 제조기술,
    합성 및 초저온 정제와 흡착 기술

  • 높은 품질과 다양한 제품군

    높은 품질과 다양한 제품군,
    5N(99.999%)의 고품질 NF3,
    20% F2/N2, Cl2, HCl, D2 등 다양한 제품군

장점

  • 안정적인
    공급 체계

  • 자체적 개발

  • 고품질 제품

NF3

NF3(삼불화질소)의 주 원료는 불산과 암모니아이며, 전기분해 반응 및
초저온 정제 과정을 통해 5N(99.999%) 고순도 제품을 만들고 있습니다.
NF3는 주로 반도체 및 디스플레이 제조 공정 중
CVD Chamber 세정 및 반도체 식각용으로 사용합니다.

  • 안전 및 품질 강화를 위한
    스마트팩토리 기반의
    NF3 생산 설비

    Neochem NF3 생산공정은 스마트팩토리 기술을 도입하여 설비 이상 징후를 조기에 감지하고, 실시간으로 공정 및 품질 데이터를 모니터링하여 안정적인 가동하고 있으며, 안전사고 없이 최고의 품질을 유지하고 있습니다.

    이런 첨단 기술을 통해 생산된 고순도 제품은 품질과 공급안정성을 인정받아 국내 주요 반도체, 디스플레이 고객은 물론 대만, 일본, 미국, 유럽, 동남아 등 해외 여러 고객에 공급하고 있습니다.

장점

공급안정성과 우수한 품질을 지닌 NF3만의 장점을 소개합니다.

  • 공급 안정성

  • 99.999%
    고순도

20% F2/N2

전기분해 공법을 통해 고순도 F2 가스를 생산하고,
이를 고순도 N2와 혼합하여 고순도 20% F2/N2를 자체 생산하고 있습니다.
20% F2/N2는 반도체 LP_CVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)
장비의 Chamber 세정용으로 사용되고 있습니다.

  • F2 혼합가스 제조 능력 보유

    불산 전기분해 반응을 통해 F2를 생산할 때 동시에 발생하는 여러 불순물들을 초저온 정제 공법(Cryogenic Distillation)을 사용하여 99.999% F2를 제조하고 있으며, 이렇게 생산된 고순도 F2와 N2를 자동화된 Blending 설비를 이용하여 균일한 농도로 20% F2/N2 제품을 생산하고 있습니다.

장점

뛰어난 품질을 가진 20% F2/N2만의 장점을 소개합니다.

  • 99.999%
    고순도

  • 균일한 농도 제품

기타 고순도가스

Neochem 독자기술로 개발한 중수소(D2) 가스 및 기타 고순도 가스 상품(Cl2, HCl)을
보유하고 있으며, 지속적으로 다양한 제품 포트폴리오를 추가할 예정입니다.

  • Cl2, HCl

    반도체 고객과 공동 국책과제를 통해 일본에서 주로 수입했던 특수가스 제품을 국산화에 성공하여 국내 반도체 공정 중 Si 식각용으로 사용되고 있습니다.

  • D2

    전략물자인 중수(D2O)를 원료로 Neochem PU만의 전기분해 기술을 적용하여 국내 최초로 국산화에 성공하였습니다. D2 는 반도체 웨이퍼 및 광케이블 열처리 공정에 사용되어 수명 연장 및 성능을 향상시켜줍니다.

장점

국산화 및 고품질의 기타 고순도 특수가스의 장점을 소개합니다.

  • 수입 대체 및 국산화

  • 우수한 품질

품질인증

  • ISO 9001 and 14001

    ISO 9001 and 14001

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